叁陆零精密是国内领先的精密激光微型加工源头供应商和代加工厂家，在超精密激光加工领域拥有丰富经验和技术积累，为客户提供亚微米级的精密激光微型加工服务。为半导体、光通讯、生物医疗、精密仪器等高端制造领域提供专业定制精密激光微型加工服务，支持复杂、疑难零件定制，1件起做。最高加工精度公差可达到1微米。突破传统加工极限，实现微纳尺度精密制造，完全满足高端制造业对精密激光微型加工的严格要求。

精密激光微型加工可控精度如下：

精密加工能力:

叁陆零精密加工厂在精密激光微型加工方面达到极高的水平。加工精度特征尺寸为0.5μm～1μm，位置精度不大于0.3μm，深度控制精度不超过0.5μm。表面质量：粗糙度Ra小于0.1μm，没有毛刺、重铸层。微孔加工：最小孔径为φ5μm，深径比为20:1以上，锥度小于1°，孔壁粗糙度Ra≤0.2μm。微槽刻蚀：槽宽5～50μm，深宽比大于10:1，侧壁垂直度大于85°.

超快激光技术:

叁陆零精密作为专业的精密激光微型加工制造商，拥有技术优势。皮秒激光脉冲宽度为10-100ps，峰值功率为MW级，热影响区小于2μm，适合硅、玻璃、蓝宝石的精密加工。双光子聚合，超精密三维微纳结构，分辨率小于500nm。激光诱导等离子体，纳米级材料去除，表面改性。应用领域为半导体硅晶圆划片，切缝宽度<30μm，无崩边；芯片开封，能准确去除封装而不损伤芯片。光通讯光纤端面加工，表面粗糙度Ra小于0.05μm；光波导刻蚀，精度为±0.5μm。生物医疗微流控芯片通道宽度5～100μm，深度5～50μm；细胞培养微孔阵列孔径φ10～50μm。精密仪器石英晶振微调，频率精度小于等于0.1ppm；光学镜片的微结构衍射效率大于等于90%。叁陆零精密公司已经为中芯国际、海思光电、迈瑞医疗等高科技企业提供了定制精密激光微型加工服务，合格率达到了99.8%，技术行业领先。

精密激光微型加工设备技术参数：